双蝶形压电驱动器

高速精密微驱动

基于粘滑原理，通过双蝶形同步与交替步进两种模式，实现高速、高精度、高负载的微运动。

Liang, Tianwei · 董景石 · 黄虎 · 王吉如 · 赵宏伟

Mechatronics 2024

参数信息

空载最大速度

6642 μm/s

最大输出力

0.5 N

最小步距

0.47 μm

最小步距

1.36 μm

最大输出力

1.3 N

空载最大速度

5864 μm/s

技术优势

步进模式超高速

步进模式下空载最大速度达6642 μm/s，远超同类粘滑驱动器。

同步模式高负载

同步模式下最大输出力达1.3 N，能够驱动较重负载。

微小步距

步进模式最小步距约0.47 μm，可精确定位。

应用场景

• 精密定位平台：用于微米级定位，如光学校准或半导体检测平台。
• 微纳操作器：作为操作器的驱动元件，实现微小物体的抓取与放置。
• 压电驱动机构：作为压电驱动机构的动力源，提高运动精度和负载能力。
• 航天精密驱动：用于航天器中需要高精度、高可靠性的微驱动部件。