反射曝光制得大口径
采用离轴反射式全息曝光系统制作的多层介质光栅,突破了透射曝光法对大口径高质量基体材料的依赖,为米级光栅的制造提供了新途径。
Chen, Hu · 万嵩林 · Guochang, Jiang · Gu, Haojin · Zhang, Yibin · 晋云霞 · 刘世杰 · 赵成强 · 曹红超 · 魏朝阳 · 邵建达
High Power Laser Science and Engineering 2023
采用离轴反射式曝光系统,成功制造出 200 mm × 150 mm 的光栅,证明了反射法可突破透射法的材料尺寸限制。
该演示表明反射式全息曝光法具备制造米级光栅的潜力,可服务于 100 拍瓦级高功率激光装置。