三指毛细微夹钳

夹持释放兼定位

通过三个探针的毛细桥协同作用，在拾取和释放之外实现对微组件的位姿调整。

Zhi, Xu · Fan, Zenghua · 高军 · Zhang, Kun · Xiang, Zhang

Micromachines 2024

参数信息

最大毛细力（模型）

95.2 μN

最大毛细力（实验）

96.0 μN

技术优势

能旋转定位

三探针协同形成的毛细桥可对微组件施加非对称力和力矩，从而在拾取后调整其角度位置，突破了单指夹钳只能拾放的限制。

模型预测可靠

基于最小能量法建立的毛细桥模型在 0.9 μL 时给出最大毛细力 95.2 μN，与实验测得的 96.0 μN 吻合良好，说明模型可用于优化设计。

应用场景

• 微装配：用于微组件的高精度组装，夹持后还能通过旋转调整位姿，减少装配误差。
• MEMS封装：在 MEMS 封装中拾取微小零件并按需调整角度，提高封装对准精度。
• 微操作：为微操作提供多自由度操控手段，尤其适合需要同时夹持与定位的任务。
• 精密仪器：可作为精密仪器中的微执行器，实现对微小物体的柔性夹持与位姿微调。