中子吸收光栅

超声填充致密钆

用超声辅助填充钆颗粒致密沉积在光栅沟槽中，显著提高了钆填充比和等效厚度，并具备大面积制造潜力。

李冀

Journal of Micromechanics and Microengineering 2024

参数信息

吸收光栅周期

42 μm

等效钆厚度

80.3 μm

填充

53.53 %

技术优势

扫描电子显微镜和X射线显微成像验证