铜穿硅通孔

90分钟退火即稳定

通过控制退火保持时间得到稳定应力-应变曲线并抑制突出变形，为TSV结构热机械可靠性提供关键工艺参数。

秦飞

Materials Science in Semiconductor Processing 2023

技术优势

保持时间小于90 min时应力-应变曲线出现屈服软化

保持时间超过90 min时获得稳定应力-应变曲线