蓝宝石EFPI真空计

800°C下分辨率15.81 Pa

在蓝宝石片上直接键合三层晶片形成复合法珀腔，同一个探头原位测出温度和压力，使高温真空环境的压强测量不必再为温度交叉敏感做补偿。

Zhao, Shuang · 江毅 · 张雨桐 · Deng, Hui

IEEE Sensors Journal 2025

参数信息

压力测量范围
0-100 kPa
压力灵敏度（室温）
56.22 nm/kPa
压力灵敏度（800 °C）
63.24 nm/kPa
压力分辨率（室温）
17.79 Pa
压力分辨率（800 °C）
15.81 Pa
最大误差
4.3 kPa

技术优势

不用补偿温度

复合腔同时测量温度和压力，从根源上消除温度对压力的交叉敏感，无需额外温度补偿腔或算法。

高温下分辨率更高

压力灵敏度随温度升高而增大，从室温的56.22 nm/kPa提升至800 °C的63.24 nm/kPa，分辨率相应从17.79 Pa提高到15.81 Pa。

一个探头测两个量

通过直接键合三层不同厚度蓝宝石晶片构建复合法珀腔，同一探头内同时获得温度和压力信号。

应用场景