窄线宽光载波干涉仪

6米内精度±0.069毫米

利用窄线宽光载波的光学干涉效应，与自适应阈值和局部二次拟合算法结合，实现紧凑且高精度的绝对距离测量。

Wenbo, Zheng · Zhen, Zhang · Yulei, Cao · Yuqi, Ren · Kang, Jiehu · Yu, Hao · Jianwei, Zhang · 吴斌

Optics and Laser Technology 2026

参数信息

最大测量残差（6 m范围）
0.069 mm
最大测量残差（100 mm位移）
0.051 mm
重复性
0.013 mm

技术优势

精度高

采用窄线宽激光器，并建立数学模型，定量表征光学干涉效应，从而提高测量精度。

结构紧凑

利用DFB激光器的高性能直接调制特性，系统配置更紧凑，便于系统集成。

算法稳健

自适应阈值与局部二次拟合算法有效抑制噪声，准确提取包络周期，实现高精度距离估计。

应用场景