多自由度电磁微光栅

扫描角放大1.84倍

通过级联多自由度谐振器优化二阶谐波，在不牺牲线性度的情况下实现扫描角度放大，解决了微光栅高分辨率与大扫描角难以兼得的矛盾。

Yuanyuan, Zhou · Hanpei, Xu · Xingquan, Yuan · Wen, Quan · 李东玲

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

扫描角

6.94 °

放大比

1.84

线性相关系数

0.99979

技术优势

扫描角放大1.84倍

利用系统二阶谐波的MIMO特性，使光栅扫描角大于驱动线圈角位移，从而以小幅驱动获得大幅扫描。

保持高线性度

实测线性相关系数达0.99979，确保扫描角度与驱动信号之间精确对应，有利于精密控制。

应用场景

• 光谱仪：利用大扫描角提升光谱分辨率与带宽，替代传统微光栅。
• 光学扫描：提供放大且线性的扫描角，适用于精密光束偏转与控制。
• 光学成像系统：在成像系统中实现高速线性扫描，提升图像采集质量。