水下激光斜冲击微成形件

表面零氧化

一种通过水下激光斜冲击成形的微槽结构,能有效避免激光直接照射导致的表面氧化,同时保持较好的成形深度。

Wang, Liangliang · Zou, Zhixiang · 苏纯 · Jia, Xiaofeng · 郭钟宁

Optics and Laser Technology 2024

参数信息

氧化区宽度
0 μm
成形深度
20 μm
表面粗糙度
0.56 μm
最大减薄率
20 %

技术优势

表面零氧化

激光以60°以上斜角入射时,激光热量集中在导孔内壁,不直接照射工件,因此微槽表面氧化区宽度降为0 μm。

表面质量可控

通过调整激光与导孔的夹角,可以将成形件表面粗糙度从2.93 μm连续降低到0.56 μm。

兼顾成形深度

即使在90°夹角下,仍能获得约20 μm的微槽成形深度,足够用于微流控和微反应器等应用。

应用场景