超声电机光学调节组件

定位误差小于1μm，稳定时间缩短83%

将超声波电机与输入整形控制结合，实现光学元件在快速调节后的低振动稳定定位，兼顾速度与精度。

姚志远

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

运动范围内定位误差小于

1 μm

稳定时间减少

83 %

技术优势

采用零振动零导数输入整形