无氧铜慢波结构

皮秒激光复合铣削

采用皮秒激光粗加工与微铣削精加工复合工艺，在无氧铜上实现长周期、高深宽比、低表面粗糙度的慢波结构。

Xiuqing, Hao · Yafang, Wan · Xu, Wenhao · Jianping, Wang · Chengfeng, Wei · Zhiwen, Hu · Huangcheng, Zhu · Luming, Zhang · 李亮 · He, Ning · 郭国强

Journal of Manufacturing Processes 2025

参数信息

底部表面粗糙度降低

46.1 %

慢波结构周期数

79

慢波结构宽度

0.1 mm

深宽比

2.8

技术优势

表面质量显著提升

皮秒激光粗加工改善无氧铜的可加工性，减少切屑堆积，使底部粗糙度降低46.1%。

刀具寿命延长

激光去除大量材料，改善可加工性，从而减少后续微铣削的刀具磨损。

成功制备高深宽比结构

复合工艺成功制造出79周期、宽度0.1 mm、深宽比2.8的慢波结构，验证了可行性。

应用场景

• 行波管放大器：提供高质量慢波结构，直接用于行波管放大器的核心部件制造。
• 高深宽比微加工：实现高深宽比微槽加工，解决传统方法在深窄结构上的难题。
• 铜微结构制造：在无氧铜上精密制造微结构，满足高导电导热应用需求。