MEMS分叉传感器

电荷检测 0.01 fC

利用1:3内共振频率解锁机制,实现二进制与模拟双模式超高分辨率检测。

Qiao, Yan · Shi, Zhan · Xu, Yutao · 韦学勇 · Elhady, Alaa · Abdel-Rahman, Eihab · 宦荣华 · Wenming, Zhang

Microsystems and Nanoengineering 2023

具体参数

二进制模式下电荷分辨率高
0.137 fC
模拟模式下电荷分辨率高
0.01 fC