多夫棱镜飞秒激光图案系统

底部粗糙度0.06 μm

该激光直写系统利用多夫棱镜优化脉冲运动与重叠分布，可在微晶玻璃基板上干净去除金属薄膜，实现高精度、低损伤的图案化加工。

Li, Chenchen · 姚保利 · 李明 · 张淳民 · Xi, Dongxue · Fugang, Wang

Optics and Laser Technology 2024

具体参数

金属薄膜底部粗糙度

{'zh': '0.06', 'en': ''} μm

基板去除深度小于

{'zh': '0.5', 'en': ''} μm

大气环境

{'zh': '1000', 'en': ''} V