底部粗糙度0.06 μm
该激光直写系统利用多夫棱镜优化脉冲运动与重叠分布，可在微晶玻璃基板上干净去除金属薄膜，实现高精度、低损伤的图案化加工。
Li, Chenchen · 姚保利 · 李明 · 张淳民 · Xi, Dongxue · Fugang, Wang
Optics and Laser Technology 2024