切割压电变形镜

低交叉耦合

通过沿电极间隙激光切割压电陶瓷削弱驱动单元间耦合，使变形镜校正高阶波前像差的能力显著提升。

李波 · 田大鹏

Photonics 2023

参数信息

交叉耦合值降低百分比

6.8 %

技术优势

耦合降低

沿电极间隙激光切割压电陶瓷，削弱驱动单元间的耦合，从而提升变形镜校正高阶波前像差的能力。

效果显著

当切割深度达到陶瓷整体厚度一半时，交叉耦合值降低了6.8%，表明切割深度对耦合有直接影响。

结构保留

该方法在不改变单压电片变形镜整体简单结构的前提下实现性能提升，保持了低成本、易制备的优点。

应用场景

• 波前校正：提供更低交叉耦合的变形镜，提升高阶像差校正精度。
• 自适应光学：可替代传统变形镜，在自适应光学系统中简化波前控制。
• 光电跟踪系统：在光电跟踪系统中实现更精确的光束调整与目标跟踪。