正阈值电压线性可调
在栅极介电层中插入超薄夹层,使IGZO TFT的正阈值电压可在宽范围内线性调节,且不牺牲亚阈值摆幅与迁移率,为三维集成提供器件基础。
Yan, Gangping · 75008110 · Tai, Lu · Chen, Yuting · Ma, Xueli · 项金娟 · 许高博 · Wang, Guilei · 殷华湘 · Zhao Chao
IEEE Electron Device Letters 2025
通过组合不同厚度的HfO₂和夹层类型,可将初始+0.064 V的阈值电压线性调制至+0.528 V,覆盖宽范围。
在实现最大正向阈值电压时,器件仍保持12 cm²/V·s的迁移率和84.7 mV/dec的亚阈值摆幅。
插入夹层后,器件的正负偏压应力稳定性得到提升,有利于实际应用中的可靠性。