低密度钆靶

6.7 nm EUV增强45%

低密度靶材通过降低等离子体自吸收与低电荷离子产额，显著提升6.7 nm EUV辐射强度并压缩光谱带宽。

Yibin, Zhang · Dou, Yinping · Xie, Zhuo · Qi-Jin, Zhang · Wen, Zhilin · Chaohui, Wang · Weihao, Yin · 宋晓伟 · 高勋 · 林景全

Vacuum 2024

具体参数

靶的

{'zh': '6.7', 'en': ''} nm EUV

靶的光谱纯度较固体靶提高

{'zh': '74.5', 'en': ''} %

带外辐射降至固体靶

{'zh': '约60', 'en': '~60'} %

技术优势

FWHM降至固体靶的一半