双色双脉冲飞秒激光器

高效兼顾低粗糙度

该单元采用1030 nm与515 nm双脉冲协同烧蚀，在保持低表面粗糙度的同时显著提升烧蚀速率，兼顾了加工效率与表面质量。

Zhaohui, Liu · Wan, Yuexin · Li, Xiaolong · Zhen, Yi · 陈卫 · Qi, Jia · 程亚

Journal of Applied Physics 2023

参数信息

较单波长

1030 nm

与单波长

515 nm

技术优势

烧蚀更快

双色双脉冲的烧蚀速率显著高于 1030 nm 单脉冲，提高了加工效率。

表面更光

双色双脉冲的表面粗糙度与 515 nm 单脉冲相当，显著低于 1030 nm 单脉冲，保证加工质量。

鱼与熊掌兼得

同时实现了高烧蚀速率和低表面粗糙度，打破了单波长方案中两者不可兼得的局限。

应用场景

• 超快激光微加工：用于金属、半导体等材料的精密微加工，兼顾效率与表面质量。
• 精密制造：在高精度制造中替代单波长烧蚀，避免表面粗糙度与效率的权衡。
• 表面工程：用于表面微结构加工，获得低粗糙度的功能表面。