PDMS微通道

深宽比近2

通过低温磨料气射流技术在PDMS上直接加工出高深宽比的微通道，为微流控芯片提供高效制作方案。

刘旭 · Zhang, Guiguan · Pengchong, Xu · 高航 · 左敦稳 · 孙玉利

International Journal of Advanced Manufacturing Technology 2023

参数信息

深宽比

1.938

深宽比预测误差

-4.6 %

技术优势

深宽比近2

在75°和90°加工角下，液氮射流促进磨料与切屑排出并抑制回弹磨料的二次加工，测得最大深宽比r=1.938。

预测误差小

BP神经网络建立的深宽比预测模型误差仅-4.6%，可用于虚拟正交实验探索加工能力极限。

应用场景

• 微流控芯片：直接加工出高深宽比微通道，省去光刻和键合步骤。
• 柔性器件：PDMS基底上的微通道可构成柔性微流控或传感器结构。