流体喷射抛光装置

面形精度亚微米

一种非接触式抛光设备，可加工硬脆材料的自由曲面光学表面，达到亚微米级面形精度和纳米级表面粗糙度。

曹中臣 · Ming, Wang · 刘海涛 · Tian, Huang

Friction 2023

参数信息

材料去除率

0.517 mm³/min

表面粗糙度收敛率

62.9 %

表面粗糙度预测精度

91.6 %

最大去除深度预测精度

90 %

技术优势

预测精度高

模型对表面粗糙度Ra的预测精度优于91.6%，对最大去除深度的预测精度优于90%，可用于工艺参数优化。

去除效率高

材料去除率可达0.517 mm³/min，适用于高效抛光。

表面质量提升快

表面粗糙度收敛率可达62.9%，能在较短时间内降低表面粗糙度。

应用场景

• 光学加工：直接用于光学元件的抛光工序，替代传统接触式抛光，避免表面损伤。
• 自由曲面光学：可加工自由曲面，实现非球面或复杂面形的高精度制造。
• 精密制造：提供可预测的材料去除和表面质量模型，优化精密加工参数。
• 硬脆材料加工：非接触式抛光适用于硬脆材料，减少亚表面损伤和裂纹。