在线监测闭环调整
该系统通过在线实时检测与反馈，突破了三维面形测量、柔性真空吸附和精密调整等关键技术，实现了薄壁变形镜片的高精度装配，与同类系统相比，在装配精度和成像质量评估方面具有明显优势。
Erbo, Li · 张之敬 · Taiyu, Su · 熊健 · 陈小
2024
系统基于在线实时检测与反馈，能够在装配过程中及时修正偏差，保障最终面形精度。
包括三维面形测量、柔性真空吸附与精密调整等，为高精度装配提供技术支撑。
装配后对镜片面形聚焦光斑的成像质量进行评估分析，验证系统效果。