溅射Mn-Co-Ni-O薄膜

近红外高响应度

200 °C低温沉积的MCNO薄膜，构建MSM结构后获得885 nm近红外探测的优异光响应。

杨威嘉 · Liu, Lihua · Jijin, Shi · Liang, Chuangming · Zhao, Jingjing · 合性 · 宋伟东 · 罗坚义 · 王海燕

Infrared Physics and Technology 2024

参数信息

比探测率

3.74 × 10⁸ Jones

响应度

0.23 A/W

开关比

13.15

响应/恢复时间

31.2/20.4 ms

技术优势

低温制备，TCR更高

200 °C生长的薄膜具有最大的TCR值−6.42%/K，远优于高温生长的薄膜，从而提升了光响应。

近红外响应高且快

在885 nm光照、−15 V偏压下，比探测率达到3.74×10⁸ Jones，响应/恢复时间仅31.2/20.4 ms，实现灵敏且快速的光探测。

开关比高，信噪比好

200 °C器件的开关比达13.15，能够在885 nm近红外信号下有效区分明暗状态。

应用场景

• 近红外探测器：在低电压下实现灵敏的885 nm探测，适用于便携式近红外传感终端。
• 光电传感器：提供高比探测率和快速响应，可替代传统光敏电阻用于微弱光检测。
• 光谱分析：覆盖近红外波段，可作为微型光谱仪的光电转换核心。