零死区光栅干涉仪

多维原子级测量

通过双频激光源实现三维位移同步测量，紧凑的光路设计将串扰误差降至5%以下，满足下一代光刻系统对原子级精度的要求。

Cui, Can · Lyuye, Gao · 76360785 · 76360783 · 76360784 · Yu, Ma · Huang, Guangyao · Wang, Shengtong · Linbin, Luo · 李星辉

Light: Advanced Manufacturing 2025

参数信息

X/Y轴分辨率
0.25 nm
Z轴分辨率
0.3 nm
X轴线性度系数
6.9 × 10⁻⁵
Y轴线性度系数
8.1 × 10⁻⁵
Z轴线性度系数
16.2 × 10⁻⁵
重复性
0.8 nm
XY平面长期漂移
20 nm
Z轴长期漂移
60 nm

技术优势

零死区设计

紧凑的光路架构消除了测量死区，使得在空间受限的光刻机内部也能进行连续的三维位移测量。

串扰误差低于5%

通过对串扰误差的系统分析和补偿算法，将三轴之间的串扰降至5%以下，提高了多轴同时测量的准确性。

对环境影响鲁棒

由于对激光源不稳定性和空气折射率波动的敏感度降低，系统在非理想环境下仍能保持测量精度。

应用场景