压电定位平台

20 nm 定位精度

集成了前馈补偿与PID反馈的控制框架，有效克服压电迟滞、非线性与机械耦合，实现了三轴纳米级高精度定位。

Wang, Guilian · Shuai, Hao · Jiangyang, Chen · Zhang, Hang

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

定位精度（x轴和y轴）

20 nm

定位精度（z轴）

50 nm

三维跟踪能力

2 μm

技术优势

不用改机械结构

控制算法层面补偿迟滞和耦合，平台硬件保持标准设计即可达标。

动态跟踪能力强

在0–40 Hz频段内能精准跟踪振幅高于2 μm的信号，适用于扫描类任务。

精度够用

x/y轴20 nm、z轴50 nm的定位精度满足多数精密操作需求。

应用场景

• 原子力显微镜：为扫描探针提供纳米级精确移动和快速跟踪。
• MEMS制造与装配：用于微器件的高精度对准和操作。
• 生物医学微操作：在细胞和显微手术中实现亚微米级精细操作。
• 微纳制造与检测：作为精密运动平台，支撑微纳加工与测量中的高精度定位需求。