双模式等离子体源

O₃/NOₓ切换生成

通过调节气体温度和比放电能量,同一放电装置可在高选择性O₃和NOₓ两种模式间切换,为不同应用提供定制活性物种。

刘坤 · Geng, Wenqiang · Zhou, Xiongfeng · Duan, Qingsong · Zheng, Zhenfeng · Ostrikov, Kostya (Ken)

Plasma Sources Science and Technology 2023

技术优势

模式切换通过改变比放电能量和气体温度实现

模型包含63种物种和750个反应

N、O、O₂(a)、O₂(b)是O₃和NOₓ生成与消耗的关键中间物种