500°C下寿命可达10年
内置黑硅纳米结构增强发射率，并采用晶圆级真空封装确保在高温空气中长期可靠运行。
李志伟 · Hongliang, Zu · Chen, Hongyu · Liu, Minghao · 伞海生 · 于大全
Microsystems and Nanoengineering 2026
加热丝和测温元件被真空封装在玻璃腔室内，与外界氧气隔离，从根本上消除了高温氧化导致的快速退化。
在硅膜背面制备黑硅纳米结构，有效增强红外光发射率，使同功率下辐射强度显著提高。
整个器件采用晶圆级MEMS加工和阳极键合技术制造，无需逐个封装，具备批量生产能力。