恒温压电MEMS双谐振器

全工业温区±100 ppb

集成片上微烘箱与温敏谐振器，通过闭环控温在−40至85°C全工业温区内保持频率稳定，为高精度计时提供芯片级解决方案。

Xiao, Yuhao · Zhu, Kewen · Han, Jinzhao · 东芳 · 孙成亮 · 刘胜 · 吴国强

Sensors and Actuators, A: Physical 2024

参数信息

频率稳定度

±100 ppb

技术优势

温区全覆盖

在−40至85°C整个工业温度范围内实现±100 ppb的频率稳定度，无需外部恒温槽即可保持高精度。

温度分布均匀

两种谐振器都表现出极其均匀的温度分布，减小了热梯度引起的频率误差。

应用场景

• 高精度计时：为通信基站、导航设备提供不受环境温度波动影响的精确时钟信号。
• MEMS振荡器：替代传统石英振荡器，实现更小尺寸且在全温区保持高稳定的频率源。
• 芯片级原子钟：为芯片级原子钟提供稳定的本地振荡器，降低系统对温度控制的复杂要求。
• 5G/6G通信同步：在户外基站严苛温度环境下提供可靠的同步时钟，保障通信链路的稳定性。
• 工业物联网传感器：为工业物联网传感器节点提供无需频繁校准的高稳定时间基准。