氧掺杂AlN涂层

1100°C抗氧不失效

少量氧掺入促使形成富铝氧化层，使该涂层在高温氧化环境下比纯AlN更耐久，同时氧的固溶强化将硬度提升至23.9 GPa。

Du, Jian W. · 陈利 · Xiangdong, Zhang · Zhang, Huadong · 汪炯 · 许雨翔

Ceramics International 2024

具体参数

AlN

{'zh': '~18.5', 'en': '~18.5'} GPa

涂层表面形成

{'zh': '~1.2', 'en': '~1.2'} μm