相位误差不敏感白光扫描干涉仪

重复性达0.4 nm

通过单色干涉仪与算法协同补偿相位误差，在振动等复杂环境下保持纳米级测量精度。

Changsheng, Ji · 罗松杰 · Sasaki, Osami · 陈子阳 · 蒲继雄

Surface Topography: Metrology and Properties 2024

参数信息

最大波动 (楔形窗口前表面)

3.0 nm

重复性

0.4 nm

均方根高度 Sq

1.3 nm

最大高度 Sz

1.6 nm

台阶高度

3.0 μm

技术优势

振动下仍能测准

共光路单色干涉仪实时检测由振动和扫描误差引起的相位误差并对其补偿，使白光干涉信号免受外界扰动影响。

补偿误差还能再修正

由于实际相位误差分布与检测结果并非完全一致，引入算法进一步修正，从而获得更光滑准确的表面轮廓。

波动降低20倍以上

楔形窗口前表面测量中，最大波动从 62.7 nm 降低到 3.0 nm，重复性从 16.8 nm 提高到 0.4 nm。

台阶高度测得更准

对约 3.0 μm 高的台阶进行测量，误差消除后同样获得良好的精度和重复性，表明该方法适用于具有台阶结构特征的样品。

应用场景

• 精密表面形貌测量：在振动环境中获得纳米级表面形貌，波动和重复性显著改善。
• 光学干涉计量：为白光干涉系统提供抗相位误差的解决方案，提升抗振能力。
• 半导体晶圆检测：使晶圆面形测量在产线振动下保持高重复性和精度。
• 微纳结构表征：对具有台阶等微纳结构的样品实现无相位误差的形貌与台阶高度测量。