各向异性楔形微结构电容压力传感器

宽线性高灵敏

通过各向异性楔形微结构诱导弯曲变形，克服了传统微结构随压力增加压缩刚度急剧增大的问题，实现宽范围线性测量。

Hu, Zhikai · 楚中毅 · Chen, Gen · Jing, Cui

IEEE Sensors Journal 2023

参数信息

线性测量范围

0-20 kPa

恢复时间

33.8 ms

循环稳定性

5000 cycles

技术优势

线性范围宽

在 0-20 kPa 内保持高线性度（R²=99.96%），避免了传统结构在高压力下的非线性响应。

响应快

恢复时间仅 33.8 ms，能够快速跟踪动态压力变化。

耐循环

经过 5000 次循环后性能稳定，适合长期使用。

应用场景

• 可穿戴设备：可直接集成到衣物或手环中检测人体压力信号。
• 机器人柔性操作：用于机器人抓取等操作中的触觉反馈，提升操作精度。
• 柔性传感器：作为柔性压力敏感单元，替代刚性传感器以实现曲面贴合。
• 电子皮肤：模拟皮肤触觉感知，用于机器人或假肢的触觉重建。