TEM不确定度降低法

提升OCD精度

针对样品制备、测量规程和样品倾斜等不确定度来源进行系统优化，从而为光学关键尺寸测量提供更可靠的参考数据。

Lin, Du · 任开琳 · Yang, Xu · Zhou, Wenzhan · Liu, Biqiu · 76486404 · Bian, Yuyang · Zhang, Yu

2024

技术优势

三源并治

同时优化样品制备、测量规程和成像倾斜，而不是只抓一个环节。

参考更稳

让TEM数据的不确定度降低，OCD建模所用的参考数据更一致。

模型更准

更准的TEM数据直接提升OCD测量精度，减少校准偏差。

应用场景

• 半导体工艺控制：用更稳的OCD模型监控关键尺寸，减少工艺波动。
• 晶圆检测：用更可靠的参考数据校准检测设备，提高晶圆量测一致性。
• 精密测量：降低参考数据不确定度，让光学量测更接近真实形貌。