粗糙度降至0.21 nm
引入量子点牺牲层，抑制离子束溅射中的微形貌劣化，实现超光滑表面加工。
石峰 · 田野 · Zhang, Wanli · Xie, Lingbo · Shuangpeng, Guo · 宋辞 · 铁贵鹏
Materials 2023
量子点牺牲层改变了溅射过程中的能量传递路径，抑制了离子束直接轰击造成的微形貌劣化。
Ø120 mm 大面积样品也能保持面形，精度达到 7.63 nm RMS，不是只在局部小点上起效。
对照实验证实，没有牺牲层时单晶碳化硅表面质量会恶化，所以这一层不是可有可无。