掺铒锗酸盐玻璃脊形波导

首次在掺铒锗酸盐玻璃中结合质子注入与飞秒激光烧蚀制备脊形波导，为集成光器件提供新型平台。

刘春晓 · Jie-Zhao · Zong-Yu, Hua · Yi-Chen, Yang · Sun, Wang · 张料林 · 王祥夫

Results in Physics 2023

具体参数

离子注入能量

400 keV

飞秒激光烧蚀脉冲能量

3 μJ

技术优势

632.8 nm 近场强度分布测量确认导模