体积减40%，行程增150%
采用陶瓷-陶瓷机构的新型动子替代直线导轨，结构紧凑且设计灵活，同时实现小型化与行程扩展。
Yue, Jian · 刘振 · 姚屏 · 周文杰 · He, Junfeng · Liang, Huazhuo
Micromachines 2025
动子用陶瓷-陶瓷机构替代直线导轨，省去导轨所占空间，平台整体体积下降40%。
紧凑的动子设计使行程可扩展至原来的150%，在相同体积下获得更长运动范围。
实验测得正反两个方向输出速度均超过200 mm/s，满足快速定位需求。
平台定位精度达到1.1 μm，可胜任高精度对位与微装配任务。