超声氮气射流辅助激光加工装置

消除重铸层

通过超声氮气射流将飞秒激光加工产生的熔渣破碎为纳米颗粒并防止重铸层形成，无需额外后处理即可同时提高脆性材料加工表面质量与效率。

Wang, You · Wang, Yun · 戴玉堂 · Mumtaz, Farhan

Optical Materials Express 2023

技术优势

表面质量大幅提升

超声氮气射流将加工产生的熔渣破碎成纳米颗粒，并防止重铸层形成，使石英芯片加工后的残余表面质量显著改善。

无需额外后处理

在激光加工过程中原位引入超声氮气射流即可实现清洁效果，不需要任何额外广泛的工序，简化了工艺流程。

应用场景

• 石英芯片微加工：直接获得无熔渣的石英微结构，省去湿法清洗或抛光。
• 飞秒激光微加工：在飞秒激光切割或微加工时同步清除残渣，提高加工效率。
• 微纳制造：为脆性材料提供高质量微纳加工方案，避免后处理损伤。
• 精密仪器与测量：用于精密器件制造，确保加工表面洁净度以维持性能。