飞秒激光抛光碳化硅

大倾角入射更平滑

区别于常规垂直入射抛光，本工艺利用大入射角显著改善碳化硅陶瓷表面粗糙度，尤其适合具有不同初始粗糙度的表面。

Jianbo, Chen · 陈晓晓 · Zhang, Xuanhua · Zhou, Yuhang · Chengnuo, Yi · 张文武

Optics and Laser Technology 2025

参数信息

表面粗糙度

0.74 μm

入射角

80 °

脉冲能量

85 μJ

X向重叠率

90 %

Y向重叠率

95 %

激光重复频率

35 kHz

扫描次数

6

技术优势

大角度抛光更有效

与垂直入射相比，大入射角抛光能显著降低表面粗糙度，且对具有不同初始粗糙度的表面同样有效。

凸起优先去除

抛光过程中，激光首先去除较高的凸起结构，有助于削峰填谷，获得光滑表面。

应用场景

• 飞秒激光微加工：通过大角度入射提升抛光效率，扩展飞秒激光在硬脆材料加工中的应用。
• 陶瓷表面处理：为碳化硅陶瓷提供低粗糙度表面，替代传统研磨抛光工序。
• 精密抛光：实现纳米/微米级表面粗糙度，满足精密光学或半导体部件需求。