行程大·分辨率优于9 nm
采用双对称洛伦兹力致动器与单片四棱柱柔性机构，在0.87×0.87 mm²行程内实现优于9 nm的定位，寄生运动极小。
杨旭 · Liu, Xin · Yilong, Zhu · Feng, Qiao · 李世振 · Zhu Z. · 朱利民
Journal of Micromechanics and Microengineering 2024
在0.87×0.87 mm²的行程内定位分辨率优于9 nm，满足大面积高精度定位需求。
采用洛伦兹力执行器，无机械接触，从根本上避免摩擦和磨损，提高长期稳定性。
四棱柱平行柔性机构确保运动解耦，减小平台寄生位移，提高轨迹跟踪精度。
在1257 μm/s的圆形轨迹跟踪下，最大轮廓误差仅2.7%，适合动态应用。