融合物理与虚拟车间数据训练调度模型,为半导体制造提供高质量数据支持和高精度调度决策。
马玉敏 · Luyao, Li · Shi, Jiaxuan · Liu, Juan · 乔非 · 王俊凯
Expert Systems with Applications 2025
融合物理车间和数字孪生虚拟车间的数据,通过模型级数据融合机制互补,提供充足且高质量的数据支持。
集成多层前馈神经网络与生成对抗网络样本扩展机制,能高效生成调度决策。
在半导体生产车间进行了实验,证实了方法的有效性。