峰能29倍于传统
以锥形光阑生成半高全宽1.01 mm的小尺寸离子束，在22.32 mm加工距离下实现峰能29倍于传统平面光阑，用于复杂曲面镜中频误差修形。
Meng, Liu · 彭小强 · Jie, Hu · Yiang, Zhang · Guan, Chaoliang · Hu, Hao · HongYu, Zou · Du, Chunyang
Vacuum 2025
锥形光阑的几何设计改变了离子束的聚焦特性，在保持小束径的同时显著提高了束流中心能量密度，从而提升去除速率。
将加工距离从近距离推到 22.32 mm，使离子束能够触及深凹或陡峭的复杂曲面区域，扩大了可加工工件的范围。
用该方法在通光口径 Φ45–210 mm、矢高差 16.9 mm 的复杂曲面镜上获得 3.55 nm RMS 的面形误差，证明该离子束源可用于高精度确定性修形。