磁驱正交探针三维AFM

360° 全向成像

采用磁驱动正交悬臂探针，配备两个三自由度扫描器与旋转台，可实现样品表面任意角度的矢量跟踪，能对陡峭侧壁、底切结构和深沟槽进行高精度三维表征。

张号 · Geng, Junyuan · Gao, Haibo · 荣伟彬 · 谢晖

Engineering 2023

具体参数

通过

3 D

器件微梳结构

3 D

技术优势

360° 全向成像

与2D技术相比，可高精度获取3D结构的临界尺寸信息