高温稳定高Q值
该传感器通过优化叉指换能器和反射器结构,在宽温范围内保持高Q值和稳定频率,适用于工业过程控制和环境监测。
蒋剑飞
Micromachines 2024
通过COM模型和FEM分析优化叉指换能器和反射器参数,显著提升了传感器的灵敏度和频率稳定性。
在整个25–150 °C温度范围内,传感器保持高Bode-Q值(7700),表现出优异的性能稳定性。
传感器在宽温范围内表现出优异的线性度和重复性,适合高精度温度测量。