可调角度振子压电驱动器

调角即换运动状态

通过调整振子倾角,同一驱动器可在不同电压下实现无回退运动或最大化速度,免于更换结构即可适配不同精密定位场景。

Lin, Shengrong · 马继杰 · 李建平 · Li, Shengjie · Minghao, Wang · 胡意立 · 温建明

International Journal of Mechanical Sciences 2023

参数信息

分辨率
0.24 μm
最大速度
15.54 μm/s

技术优势

调角即换运动状态

通过调整振子倾角,同一驱动器可在不同电压下实现无回退前进或高速运动,无需更换结构。

分辨率达0.24 μm

在10 V低驱动电压和60°倾角下实现亚微米级分辨率,适合高精度定位。

四态运动可选

静态分析揭示驱动器具有静止、无回退前进、带回退前进和不稳定四种状态,通过电压和倾角耦合可预设所需运动模式。

应用场景