三项指标同步提升
一种通过传感梁上的重掺杂圆角结构同时增强灵敏度、谐振频率和过载能力的压阻式加速度计，优于无圆角对照器件。
Xia, Yong · Tao, Wang · Yang, Lv · Xiangguang, Han · Yu, Mingzhi · Renjie, Tan · Huang, Mimi · Jia, Chen · 赵立波 · 孙立宁 · 杨平 · Lu, Dejiang
IEEE Sensors Journal 2025