双MEMS反射镜拉曼显微镜

共焦拉曼联测表面形貌

用两片二维MEMS反射镜实现光束远心扫描，省去扫描透镜和管透镜组成的中间中继系统，显著缩短光程，并利用反射光构建实时焦点追踪系统提升空间分辨率。

赵维谦

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2024

参数信息

轴向聚焦能力

50 nm

横向分辨率

500 nm

技术优势

同时获取碳质球粒陨石的地形成像与拉曼图谱