铂电极PZT薄膜

柔性压电性能更优

以铂为下电极的PZT薄膜在柔性云母基底上展现出比LaNiO3电极更高的压电系数，更适合用于柔性压电传感器。

Yu, Yan · Zhao, Yiming · Yunfei, Zhang · 刘泳斌 · 武鸣 · 钟力生

Materials 2023

技术优势

PZT薄膜在LNO/Mica基底上具有更弱的应力、更强的(100)择优取向和更高的剩余极化

LNO/Mica基底上的PZT薄膜晶粒生长不充分，导致更多非活性晶界和晶格缺陷

PZT薄膜在LNO/Mica基底上的压电系数小于在Pt/Mica基底上的压电系数