微型外差干涉仪

低周期非线性

通过优化偏振光学参数与楔角设计，在微型封装内同时实现低周期非线性与高热稳定性，适用于超精密位移测量。

Zhiwei, Wang · 胡鹏程 · 杨鑫 · Xionglei, Lin · Junhong, Luan · Wei, Chen · 付海金 · 孙涛 · 于亮

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2026

参数信息

周期非线性

59 pm

热漂移系数

6 nm/K

温度漂移校正后测量稳定性（峰峰值）

0.8 nm

与商业干涉仪差值标准差

5.1 nm

技术优势

非线性压低到 59 pm

通过优化偏振相关参数并引入微楔角使鬼束空间失配，从源头抑制两类周期非线性。

热漂移低于 6 nm/K

通过成对对称微楔角消除单侧楔角引入的光程不平衡，使干涉仪在温度变化下保持稳定。

5 小时漂移小于 0.8 nm

经温度漂移校正后，测量稳定性在 5 小时内峰峰值优于 0.8 nm，适合长时间精密测量。

与商用机差值仅 5.1 nm

与空气中商业干涉仪直接比对，差值标准差为 5.1 nm，证明其在常规环境下的等效精度。

应用场景

• 超精密测量：替代现有干涉仪，在超精密位移测量中实现低非线性、高稳定性。
• 晶圆对准：为晶圆对准提供高精度、低漂移的位移反馈。
• 极紫外光刻：满足极紫外光刻对测量系统微型化与高热稳定性的要求。
• 纳米定位：为纳米定位系统提供低非线性、高分辨率的位移测量。