耐磨减摩最优
通过调控氮含量优化薄膜的硬度与摩擦磨损性能，在N2流量2 sccm时获得最低磨损率和摩擦系数。
Lei, Yan · Sikai, Mei · 蔡召兵 · 刘盈 · Wang, Bingxu · Gu, Le
Surface and Coatings Technology 2025
在N₂流量2 sccm时硬度达14.6 GPa，磨损率仅为3.5 × 10⁻⁶ mm³/N·m，同时实现减摩和抗磨。
仅2 sccm的N₂流量就获得最大硬度和最低磨损率，工艺窗口易控制。
在低N₂流量下主要发生氧化磨损，磨损产物以Cr₂O₃为主，避免严重磨粒磨损。