电泳辅助微超声加工微通道

硬脆材料高精高效

采用电泳辅助微超声加工技术，在硅、玻璃等硬脆材料上实现高精度、高效率的微通道制备，突破了传统加工在硬脆材料微细结构制造上的局限。

连海山 · Cuiyuan, Deng · Linpeng, Zhang · Mo, Yuandong · He, Junfeng · 郭钟宁

International Journal of Advanced Manufacturing Technology 2023

参数信息

材料去除率

70 %

表面粗糙度

18 μm

超声功率

70 %

平均磨粒粒径

18 μm

磨粒浓度

18 %

直流电压

40 V

技术优势

磨粒稳定供给

施加直流电场后，超细磨粒因电泳特性持续存在于加工区域，避免因磨粒耗尽导致的加工中断或质量波动。

表面质量提升

适当增加磨粒浓度并引入直流电压，可有效降低表面粗糙度，提高微通道表面光洁度。

应用场景

• 微流控芯片制造：在硅、玻璃上加工精密微通道，用于芯片内流体控制。
• 硬脆材料微加工：解决硬脆材料微加工中效率和精度难以兼顾的问题。
• 微细加工：提供一种适用于硬脆材料的高精度、高效率微通道加工工艺。