Nb/Ta合金(Ti,Al)N薄膜

耐高温抗软化

通过Nb和Ta合金化同时提升(Ti,Al)N涂层的硬度、热稳定性和抗氧化性,其中Nb带来更高相对硬化,Ta带来更高绝对硬度。

Hu, Chun · 张洁 · Liu, Huijun · Du, Jian W. · 陈利 · 孔毅 · Mayrhofer, Paul H.

Surface and Coatings Technology 2024

参数信息

硬度(沉积态)
34.1 GPa
硬度(1000 °C退火后)
37.0 GPa

技术优势

推迟高温相变

Nb或Ta的加入延缓了(Ti,Al)N的调幅分解和w-AlN形成,使w-AlN起始形成温度从约1050 °C推迟到约1200 °C。

抗氧化性增强

Nb和Ta均能提升(Ti,Al)N的抗氧化性,且Ta的效果优于Nb。

应用场景