动量-位移混合真空泵

−20至−80 kPa平滑跟踪

采用液活塞密封消除内泄漏，通过直驱泵控取代阀控，实现宽范围平滑负压输出。

76717239 · 李新

Vacuum 2026

参数信息

工作压力范围

−20 to −80 kPa

技术优势

内泄漏归零

利用液活塞密封特性消除内部泄漏，为泵控建模提供物理基础，从而能精确预测并控制压力。

无需调节阀

采用直驱泵控架构，而非阀控，省去复杂调节阀和缓冲罐，系统得以小型化和高集成度。

安静无磨损

液活塞替代固体活塞摩擦副，实现安静、无磨损运行，适合对噪音和寿命要求高的场合。

应用场景

• 微流控负压驱动：提供低脉动负压直接驱动微流控芯片，省去缓冲罐和调节阀。
• 真空计量测试：在宽范围提供无泄漏的稳定负压基准，提升计量测试精度。
• 精密气动控制：直驱泵控替代阀控，实现高精度、无迟滞的负压调节。