中红外超连续谱分析仪

3.5米原位探测

超连续谱的空间相干性使等离子体内部多组分气体的原位同时检测成为可能

Krebbers, Roderik · Liu, Ningwu · Wessel, Averink · Harren, Frans J.M. · Butterworth, Thomas D. · Van Rooij, Gerard J. · Khodabakhsh, Amir · Cristescu, Simona M.

Applied Physics B: Lasers and Optics 2025

参数信息

探测光程

3.5 m

光谱覆盖范围

1.4–4.1 μm

技术优势

原位探测等离子体

首次利用中红外超连续谱和傅里叶变换光谱仪对甲烷等离子体进行原位研究，直接获取反应区内的组分和温度信息。

3.5米长光程

得益于超连续谱的空间相干性，探测光程达3.5米，能在几毫巴压力下检测低于百分之一浓度的组分，提高探测灵敏度。

同时测量温度和浓度

超连续谱的宽光谱范围覆盖整个振动转动带，可在一次测量中同时获得CH4和C2H2的转动温度与振动温度，为理解等离子体过程提供关键参数。

应用场景

• 等离子体诊断：实时获取反应器内部组分和温度，优化等离子体工艺。
• 中红外光谱：利用宽谱中红外超连续谱同时检测多种分子的完整振动转动带。
• 甲烷转化：实时分析甲烷等离子体转化产物，为反应路径研究提供数据。
• 等离子体催化：在线追踪等离子体催化过程中关键物种的浓度和温度变化。